影像測量儀常見故障分為升降傳動故障、工作臺故障、投影屏故障、投影成像故障、影像成像故障、電氣故障、電子故障以及精度故障等。
    1、升降傳動故障。常見的有升降有異響、無法上升，下降、下降有墜落感，彈跳、傳動時空回間隙大、微調(diào)不傳動、投影屏框松動等。
 　 2、工作臺故障。一般容易出現(xiàn)光桿空轉(zhuǎn)、光桿傳動有彈跳、磨擦傳動時不順、工作臺運(yùn)動有響聲、工作臺運(yùn)動有卡滯現(xiàn)象等。解決故障時，要要找出故障原因，再對癥下藥。可調(diào)整彈簧的螺絲松緊、更換軸承、新上油、加潤滑油、更換光桿、調(diào)節(jié)或更換光桿支架等方式來解決。
 　 3、投影屏故障。旋轉(zhuǎn)有聲響時，可清理端面上的雜質(zhì)（如銹漬），換新定位軸承等。旋轉(zhuǎn)時磨擦力大，可松開鎖緊螺絲，或換磨擦轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)時不均勻時，可換新度盤座、磨擦輪、磨擦輪軸等。投影屏旋轉(zhuǎn)不計數(shù)時，可扭緊角度磨擦機(jī)械，焊接好信號線，接好接插等。
 　 4、投影成像故障。成像模糊、成像有暗區(qū)、影像有黑斑、成像對比光線暗等，可以對物鏡、投影屏、工作臺玻璃、聚光鏡、反光鏡等進(jìn)行清洗。對燈絲進(jìn)行調(diào)節(jié)或更換，如果燈泡電源電壓過低，則加裝總電源穩(wěn)壓器。
 　 5、影像成像故障。顯示黑屏?xí)r可查看電源線是否接好，電源電壓等，插緊顯示器信號線，如有零件損壞則需要更換顯示器或者十字線產(chǎn)生器。當(dāng)物鏡變倍時十字線與描準(zhǔn)點(diǎn)偏移大時，重調(diào)鎖鏡筒的螺絲釘，或者換鏡筒。當(dāng)出現(xiàn)被測工作的某一邊有暗影時，可調(diào)節(jié)攝像機(jī)或者玻璃四個角上的螺絲，擺正工件。
 　 6、電氣故障。常見故障有燈泡不亮、軸流風(fēng)機(jī)不轉(zhuǎn)動、易燒燈泡、易燒保險絲、變壓器過熱，損壞等。
 　 7、電子故障。如電箱按鍵失靈，可系統(tǒng)總清、換新面膜；如軸不計數(shù)，可換滑座或OP板或整個尺、重新接一下信號線、換主機(jī)板等。如數(shù)碼管缺筆劃，則需更換或維修。
    8、精度故障。包括a.x.y軸精度不準(zhǔn)、兩坐標(biāo)測量精度差、角度示值誤差大、不同平面測量誤差大等。應(yīng)對此類故障，要注意校正和調(diào)整。
 　 如果想讓影像測量儀少發(fā)生故障，就要注重平時對儀器進(jìn)行保養(yǎng)。儀器存放環(huán)境相當(dāng)重要，應(yīng)放在清潔干燥的房間里，避免光學(xué)零件表面發(fā)霉、金屬零件生銹、塵埃雜物剝落等。件表面要保持清潔，不可以用手觸摸，要經(jīng)常進(jìn)行清潔。